又名四级油泵。扩散泵的原理：在前级真空泵所造成的低真空条件下，加热泵内硅油生成蒸气，以极高速度通过泵内各级喷口喷出，使容器内的气体分子被带到捕集器的位置，再由前级泵抽出，从而使真空系统达到高真空。采用四级喷口，能获得更高的真空度和更大的抽气速率。
