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又名三级油泵。扩散泵的原理:在前级真空泵所造成的低真空条件下,加热泵内硅油生成蒸气,以极高速度通过泵内各级喷口喷出,使容器内的气体分子被带到捕集器的位置,再由前级泵抽出,从而使真空系统达到高真空。