ULVAC | 干式真空泵 | DAT-100S

（ULVAC）

〇标记表示内置卸荷阀　△标记表示不含电源插头和电源线。◎标记表示卸荷阀为选件。※当隔膜型干式真空泵停机时，极快地向泵头内部导入空气，使泵头与外侧没有压差的机构。